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      深國安氯氣檢測儀在半導體行業的應用

      更新時間:2025-05-27      點擊次數:276

      半導體制造涉及清洗、蝕刻、光刻等多道工藝,其中含氯化學品(如三氯化硼、四氯化硅)的使用廣泛。這些工藝過程中,若氯氣(Cl?)未反應或發生泄漏,將直接危害人員健康與設備安全。根據《GBZ 2.1-2019 工作場所有害因素職業接觸限值》,氯氣的8小時加權平均容許濃度(TWA)僅為0.5ppm,短時間接觸容許濃度(STEL)為1ppm;當濃度超過10ppm時,30分鐘暴露即可致命[2]。此外,氯氣若未有效處理直接排放,還會腐蝕設備、污染大氣,違反環保法規。因此,對氯氣的實時監測與精準管控,是半導體企業安全生產與環保達標的核心需求。

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      針對半導體行業高濕、微腐蝕、需24小時連續監測的復雜環境,深國安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測儀,從硬件到功能均進行了專項優化[?]:



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